Centre de Recherche sur les Nanomateriaux et l'Énergie
 
Nouvelle salle blanche
Mardi 16 Mars 2010
Catégories : Équipements / Actualités / Informations

Le professeur Ricardo Izquierdo du Département d'Informatique de l'UQAM et le centre de recherche NanoQAM, viennent de rendre accessible une toute nouvelle salle blanche aux différents acteurs académiques et industriels dans les domaines des nanotechnologies et de la microélectronique.

Aligneuse de masques (lithographie optique) OAI Hybralign Series 200
Aligneuse de masques (lithographie optique) OAI Hybralign Series 200

Cette salle blanche comporte comme équipements de recherche deux aligneuses de masques (lithographie optique) et un évaporateur par effet joules (dépôt de couches minces de métaux et matériaux organiques). Sont aussi présents dans cette salles les équipements nécessaire à la préparation et la caractérisation des matériaux et systèmes avancés, soit : un microscope (500x) équipé d’une caméra numérique, un système plasma microondes (oxygène, argon), un système de dépôt par tournette (spin coating) et un système 4 pointes pour la mesure de la résistivité des couches minces.

Microscope (50x) avec caméra numérique
Microscope (50x) avec caméra numérique

La salle blanche comporte également une imprimante à matériaux (lithographie par fluides) actuellement au stade de la mise au point et de l'optimisation des procédés et qui sera à son tour accessible aux utilisateurs externes dans les mois à venir. Toutes personnes intéressées par l’utilisation autonome de ces équipements ou qui désire avoir accès à la salle blanche doivent impérativement suivre au préalable une formation auprès de Ms. Marianne Crépel.