Centre de Recherche sur les Nanomateriaux et l'Énergie
 
Nouveaux équipements de nanofabrication
Mardi 02 Octobre 2012
Catégories : Équipements / Actualités / Informations

Le professeur Fréréric Nabki du Département d’Informatique de l’UQAM, le centre de recherche CoFaMic et le centre de recherche NanoQAM, viennent de rendre accessible aux différents acteurs académiques et industriels dans les domaines des nanotechnologies et de la microélectronique 3 nouveaux équipements scientifiques

Profilomètre

Ce profilomètre permet de caractériser la topographie d'une surface avec une résolution latérale de 1nm. Ce instrument permet également d'effectuer des mesures de stress et mapping 3D. Les applications directes de ce type d'instrument sont : la mesure d'épaisseur des couches minces, la mesure du stress, la mesure de rugosité, et la représentation 3D de surfaces.

Profilomètre, Dektak XT


Système de dépôt du parylène

Le système de dépôt de parylène, SCS Labcoter 2, permet d'effectuer des dépots fiables, uniformes (95%) et reproductibles de parylènes (types C ou N). Les épaisseurs des couches obtenues peuvent être comprises entre quelques nm à plusieurs um. Cet instrument permet d'opérer à des températures de 20°C à 650°C et des pressions de 1 à 100 torr. Les applications de cet instruments sont la synthese de composants pour les circuits imprimés (PCB), les capteurs, les wafers ou dispositifs médicaux, les MEMS et les composants en élastomère pour la R&D.

Système de dépôt du parylène, Labcoter 2 (PDS 2010)


Système de nettoyage au plasma

Cet instrument permet d'effectuer des nettoyages au plasma afin d'enlever les impuretés et les contaminants de surfaces à travers l’utilisation d’un plasma énergétique crée à partir d’espèces gazeuses (N2/Ar).

Système de nettoyage au plasma, PICO

Toutes personnes intéressées par l’utilisation de cette imprimante à matériaux doit impérativement suivre au préalable une formation auprès de M. Menouer Saidani.