Centre de Recherche sur les Nanomateriaux et l'Énergie
 
Lithographie - Aligneuse de Masques Optique (OMA)
Emplacement : Composante Micronanofabrication (Local PK-2274)
Ressource : Alexandre Robichaud.

Description de l'instrument :


The OAI Model 200 Mask Aligner and UV Exposure System is a cost-effective high performance mask aligner that has been engineered with industry proven components that have made OAI a leader in the photolithography capital equipment industry. The Model 200 is a bench top mask aligner that requires minimal cleanroom space. It offers an economic alternative for R&D, or limited scale, pilot production. Utilizing an innovative, air bearing / vacuum chuck leveling system, the substrate is leveled quickly and gently, for parallel photo mask alignment and uniform contact across the wafer during contact exposure. The system is capable of one micron resolution and alignment precision.

The alignment module features mask insert sets and quick-change wafer chucks that facilitate the use of a variety of substrates and masks without requiring special tools for reconfiguration. The alignment module incorporates micrometers for X, Y, and Z-axis.

The Model 200 Mask Aligner features a dependable OAI light source which provides collimated UV light in Near or Deep UV using lamps ranging in power from 200 to 2000 watts. Dual-sensor, optical feedback loops are linked to the constant intensity controller to provide control of exposure intensity within ±2% of the desired intensity. Changes may be made to the UV wavelength quickly and easily. This mask aligner is a flexible, economic solution for any entry-level mask alignment and UV exposure application.

Modèle de l'équipement : OAI, Hydralign Series 2000


Lithographie - Aligneuse de Masques Optique (OMA), OAI, Hydralign Series 2000

Frais d'utilisation :


Pour les frais d'utilisation, veuillez consulter le site web du CoFaMIC : http://www.cofamic.uqam.ca
  • Ajouter 25$/h si les manipulations sont effectuées par un opérateur.
  • Ajouter 15% de frais administratifs si utilisateur industriel.

Modalités de Réservation :

  • Pour les usagers externes, communiquer avec Alexandre Robichaud.
  • Pour les usagers internes, tous les utilisateurs doivent suivre une formation avec Alexandre Robichaud avant d’utiliser cet équipement. Pour effectuer une réservation en ligne, cliquer sur le lien dans le tableau ci-dessous, puis cliquer sur la journée concernée. Un horaire détaillé de cette journée apparaîtra. Vous pourrez alors réserver la plage horaire qui vous convient.
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