Centre de Recherche sur les Nanomateriaux et l'Énergie
 
Système de dépôts / Évaporateur eBeam (EBPVD)
Emplacement : Composante Micronanofabrication (Local CB-3405)
Ressource : Alexandre Robichaud.

Description de l'instrument :


L'évaporation sous vide est une technique de dépôt de couche mince (généralement métallique), utilisé notamment dans la fabrication micro-électronique. Le matériau à déposer est évaporé sous vide dans une enceinte hermétique, le vide permettant aux particules d'atteindre directement le support où elles se recondensent à l'état solide.

L'Electron beam physical vapor deposition (EBPVD) est une forme de dépôt physique en phase gazeuse dans laquelle une anode cible sous vide poussé est bombardée par un faisceau d'électrons émis par un filament de tungstène chargé. Le faisceau d'électrons transforme les molécules de la cible en phase gazeuse. Ces molécules précipitent alors sous forme solide, recouvrant toute la chambre à vide (en quelque sorte) d'une couche mince du matériau de l'anode.

Modèle de l'équipement : Fait maison, N/A


Système de dépôts / Évaporateur eBeam (EBPVD), Fait maison, N/A

Frais d'utilisation :


Pour les frais d'utilisation, veuillez consulter le site web du CoFaMIC : http://www.cofamic.uqam.ca
  • Ajouter 25$/h si les manipulations sont effectuées par un opérateur.
  • Ajouter 15% de frais administratifs si utilisateur industriel.

Modalités de Réservation :

  • Pour les usagers externes, communiquer avec Alexandre Robichaud.
  • Pour les usagers internes, tous les utilisateurs doivent suivre une formation avec Alexandre Robichaud avant d’utiliser cet équipement. Pour effectuer une réservation en ligne, cliquer sur le lien dans le tableau ci-dessous, puis cliquer sur la journée concernée. Un horaire détaillé de cette journée apparaîtra. Vous pourrez alors réserver la plage horaire qui vous convient.
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