Centre de Recherche sur les Nanomateriaux et l'Énergie
 
Système de dépôt du parylene (PDS)
Emplacement : Composante Micronanofabrication (Local PK-2273)
Ressource : Galyna Shul ou Gwenaël Chamoulaud.

Description de l'instrument :


Le système de dépôt de parylène, SCS Labcoter 2, permet d'effectuer des dépots fiables, uniformes (95%) et reproductibles de parylènes (types C ou N). Les épaisseurs des couches obtenues peuvent être comprises entre quelques nm à plusieurs um. Cet instrument permet d'opérer à des températures de 20°C à 650°C et des pressions de 1 à 100 torr. Les applications de cet instruments sont la synthese de composants pour les circuits imprimés (PCB), les capteurs, les wafers ou dispositifs médicaux, les MEMS et les composants en élastomère pour la R&D.

Modèle de l'équipement : Speciality Coating Systems (SCS), Labcoter 2 (PDS 2010)


Système de dépôt du parylene (PDS), Speciality Coating Systems (SCS), Labcoter 2 (PDS 2010)

Frais d'utilisation :


Tarification de l'instrument
Tarifs académiquesTarifs industriels
$30.00/h$75.00/h
  • Ajouter $40.00 / h si les manipulations sont effectuées par un opérateur.
  • Ajouter 15% de frais administratifs si utilisateur industriel.

Modalités de Réservation :

  • Pour les usagers externes, communiquer avec Galyna Shul ou Gwenaël Chamoulaud.
  • Pour les usagers internes, tous les utilisateurs doivent suivre une formation avec Galyna Shul ou Gwenaël Chamoulaud avant d’utiliser cet équipement. Pour effectuer une réservation en ligne, cliquer sur le lien dans le tableau ci-dessous, puis cliquer sur la journée concernée. Un horaire détaillé de cette journée apparaîtra. Vous pourrez alors réserver la plage horaire qui vous convient.
  • Pour réserver cet équipement à partir de cette page, cliquez ici.