Centre de Recherche sur les Nanomateriaux et l'Énergie
 
Composante Micronanofabrication

Cet composante de NaqnoQAM, principalement localisée en salles blanches (20 m2 de classe 100, 40 m2 de classe 1000, et 80 m2 de laboratoire) est dédié à la fabrication, à partir de matériaux organiques, polymères ainsi que des matériaux hybrides incluant des nanoparticules, de divers types de micro et nano systèmes tel des capteurs biologiques ou médicaux.

Cette infrastructure est l’une des seules au Québec à être en mesure de fabriquer des OLEDs, des PLEDs, des piles boutons et à les caractériser optiquement et électriquement.

Cette infrastructure est équipée de systèmes de lithographie par contact et par nano-mouillage (système AFM DPN) qui sont plus adaptés aux travaux sur les matériaux organiques et polymères ainsi que d’une imprimante de matériaux à jet d’encre et d’un système de dépôt par jet aérosol qui permettent l’écriture directe de ces matériaux avec une résolution micrométrique.

Systèmes d'impression

Ces équipements permettent d'effectuer des impressions de dimension micro ou nanométriques, direct ou indirect (masques) de nanomatériaux organiques, inorganiques ou hybrides.

Systèmes de dépôts

L'ensemble de ces équipements permet d'effectuer des dépôts de couches minces (métaux, parylène) par les techniques de dépôt chimique en phase vapeur(CVD) ou eBeam.

Gravures et traitements de surface

Cette série d'équipements permet le traitement et la gravure des surfaces : nettoyage au plasma, gravure ionique réactive, gravure des circuits imprimés (manuel ou automatique).