Centre de Recherche sur les Nanomateriaux et l'Énergie
 
Microsystèmes, microélectronique et encapsulation : l'intégration des microtechnologies
Paul-Vahé Cicek
Département d’informatique, programme de génie microélectronique, UQAM

Résumé : Par les temps récents, l’industrie technologique vise plus que jamais à offrir des produits aux fonctionnalités grandement diversifiées, plutôt que de se concentrer exclusivement à l’amélioration de la performance brute. On peut prendre l’exemple des téléphones intelligents qui permettent une interaction intuitive avec l’appareil (grâce aux écrans tactiles, détecteurs d’empreintes digitales, accéléromètres et gyroscopes, détecteurs de proximité) tout en donnant accès à des données environnementales utiles par l’inclusion de capteurs (de pression, d’humidité, magnétomètres, capteurs inertiels, etc.)

Pour permettre cette expansion constante de fonctionnalités tout en réduisant la taille et la consommation énergétique des produits, l’intégration étroite des différentes microtechnologies s’avère de plus en plus nécessaire. Cette présentation portera ainsi sur trois volets principaux:
  1. l’intégration monolithique de microsystèmes électromécaniques pour améliorer les circuits électroniques intégrés (résonateurs et interrupteurs RF) ou pour détecter les données environnementales (capteurs d’humidité, accéléro-magnétomètre)
  2. la combinaison de différentes microtechnologies pour permettre de nouvelles applications (microfluidique + actionneur ultrasonique)
  3. l’encapsulation locale de micro-dispositifs pour réduire la taille et les coûts des systèmes
On présentera au cours du séminaire des dispositifs réalisés, accompagnés des procédés et techniques de microfabrication employés.

Biographie : Paul-Vahé Cicek a obtenu le diplôme d'ingénieur en génie électrique à l'université McGill en 2006, où il termine présentement son doctorat en génie électrique. En juin 2014, il s'est joint comme professeur à l'Université du Québec à Montréal au département d'informatique, au sein du programme de génie microélectronique, où ses avenues de recherche gravitent autour des microsystèmes, des techniques de mise en boîtier et des méthodes d'intégration. De 2009 à 2014, il a été chef de l'équipe de recherche et développement des microsystèmes chez MEMS Vision International Inc., compagnie qu'il a contribué à fonder.

Lieu et Date du séminaire :
Organisation du séminaire : NanoQAM-CoFaMic
Pavillon President Kennedy, Local PK-4610.
Mercredi 10 Décembre 2014 à 13:30.